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उत्पाद विवरण:
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| Color: | Colorless to yellowish liquid | Specific weight: | 1.01-1.25 |
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| PH: | 12.0-14.0 | नि: शुल्क क्षारीयता (piont): | ≧ 13.5mg |
| हाई लाइट: | सिलिकॉन स्लाइस डिटर्जेंट,औद्योगिक रासायनिक सफाई |
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औद्योगिक सिलिकॉन वेफर सफाई समाधान डबल समूह में ध्यान केंद्रित
सबसे प्रभावी रूप से सिलिकॉन वेफर्स को साफ करने के लिए, सिलिकोन के निर्माता सफाई चरणों की निम्नलिखित सूची की सिफारिश करते हैं:
एक कदम: सॉल्वेंट क्लीन
सेमीकंडक्टर निर्माण व्यवसाय सिलिकॉन वेफर्स की सतह से तेल और कार्बनिक अवशेषों को सफलतापूर्वक निकालने के लिए सॉल्वैंट्स का उपयोग करते हैं। जबकि सॉल्वैंट्स इन दूषितियों को दूर करते हैं, सॉल्वैंट्स स्वयं वास्तव में वेफर्स की सतह पर अवशेषों को छोड़ देते हैं। इस कारण से, यह सुनिश्चित करने के लिए एक दो-विलायक विधि लागू की जाती है कि वेफर को दूषित मुक्त अवस्था में लौटाया जाता है। विलायक सफाई विधि नीचे उल्लिखित है:
दो स्नान, एसीटोन के साथ एक ग्लास कंटेनर और दूसरा मेथनॉल के साथ तैयार करें।
एसीटोन को एक गर्म प्लेट पर रखें ताकि एसीटोन को 55 ° C से अधिक के तापमान पर गर्म किया जा सके।
गर्म होने पर, सिलिकॉन वेफर को 10 मिनट के लिए एसीटोन स्नान में भिगोएँ।
एसीटोन स्नान पूरा होने के बाद, सिलिकॉन वेफर को हटा दें और इसे 5 मिनट के लिए मेथनॉल कंटेनर में रखें।
एक बार समय लगने के बाद मेथनॉल से वेफर निकालें और डि पानी में कुल्ला करें।
नाइट्रोजन के साथ सिलिकॉन वेफर को सूखा दें।
चरण दो: आरसीए -1 स्वच्छ
अर्धचालक विनिर्माण उद्योग में वे कार्बनिक अवशेषों को हटाने के लिए एक आरसीए स्वच्छ का उपयोग करते हैं। आरसीए स्वच्छ सिलिकॉन ऑक्सीकरण करता है और वफ़र की सतह को ऑक्साइड की एक पतली सुरक्षात्मक परत प्रदान करता है। RCA-1 सफाई विधि नीचे उल्लिखित है:
5 भाग डि पानी और 1 भाग अमोनियम हाइड्रॉक्साइड (27%) को मिलाकर एक आरसीए स्नान की तैयारी शुरू करें।
लगभग 70 डिग्री सेल्सियस के तापमान पर घोल को गर्म करने के लिए एक गर्म प्लेट पर आरसीए कंटेनर रखें।
एक बार जब यह तापमान पहुंच गया है, तो कंटेनर को गर्म प्लेट से हटा दें और 1 भाग हाइड्रोजन पेरोक्साइड (30%) जोड़ें। एक या दो मिनट बाद घोल फूट जाएगा।
एक बार जब घोल फूटना शुरू हो जाता है, तो सिलिकॉन वेफर को लगभग 15 मिनट के लिए भिगो दें।
समय समाप्त होने पर, आरसीए स्नान से वेफर को हटा दें और इसे डीआई पानी के साथ एक कंटेनर में रखें, समाधान को पूरी तरह से कुल्ला करने के लिए पानी को कई बार बदल दें।
इस प्रक्रिया के बाद, यह सुनिश्चित करने के लिए कि पानी की सतह से कोई अवशेष वफ़र से चिपक नहीं है, बहते पानी के नीचे कंटेनर से वेफर को हटा दें।
चरण तीन: हाइड्रोफ्लोरोइक एसिड (एचएफ) डुबकी
सेमीकंडक्टर निर्माण व्यवसाय तो सिलिकॉन वेफर सतह से सिलिकॉन डाइऑक्साइड को हटाने के लिए अंतिम चरण, एक एचएफ डुबकी को लागू करते हैं। यह ध्यान रखना महत्वपूर्ण है कि एचएफ एक खतरनाक रसायन है, इसलिए सिलिकोसिस के निर्माता इस बात की सलाह देते हैं कि सुरक्षात्मक गियर, जैसे कि भारी दस्ताने और आंख पहनना, इस चरण के दौरान हर समय पहना जाना चाहिए। एचएफ डिप प्रक्रिया नीचे उल्लिखित है:
20 मिलीलीटर एचएफ के साथ 480 मिलीलीटर पानी मिलाकर एक एचएफ डिप कंटेनर बनाएं। ग्लास के बीकर के विपरीत हमेशा एक पॉलीप्रोपाइलीन बीकर का उपयोग करें क्योंकि एचएफ को किसी भी ग्लास सामग्री के संपर्क में आने पर खतरनाक प्रतिक्रिया करने के लिए जाना जाता है।
घोल बनाने के बाद, सिलिकॉन वेफर को 2 मिनट के लिए भिगो दें।
एक बार समय बीत जाने पर, वेफर को हटा दें और डीआई पानी चलाने के तहत कुल्ला करें।
वेफर सतह पर DI पानी डालकर एक wettability परीक्षण करें। यदि पानी थोड़ा मोतियों में बदल जाता है और बंद हो जाता है, तो आप जान पाएंगे कि सतह हाइड्रोफोबिक है और ऑक्साइड से मुक्त है।
नाइट्रोजन के साथ सिलिकॉन वेफर को सूखा दें।
सिलिकोन के निर्माताओं द्वारा अनुशंसित उपरोक्त चरणों का प्रदर्शन करने से सेमीकंडक्टर निर्माण उद्योग में उन व्यवसायों को सिलिकॉन स्थानांतरण के लिए संदूषण की चुनौतियों से उबरने में मदद मिलेगी।
सिलिकॉन वेफर क्लीनिंग सॉल्यूशन तकनीकी पैरामीटर
वर्गीकरण परियोजना | JH-1015-2 सिलिकॉन वेफर सफाई समाधान | परीक्षण मानक |
| दिखावट | तरल के लिए बेरंग | दृश्य |
| निश्चित वजन | 1.000 ± 0.050 | densimeter |
| पीएच | 1.0-2.0 | PH साधन |
| मुक्त क्षारीयता (piont) | - | CYFC |
हमारी फैक्टरी
फैक्टरी में 26653 वर्ग मीटर का एक क्षेत्र, एक वर्ग कार्यशाला, सी श्रेणी कार्यशाला, सी श्रेणी के गोदाम, एक गोदाम और अन्य सहायक सुविधाओं का निर्माण शामिल है। 100 से अधिक प्रकार की रासायनिक प्रजातियों को शामिल करना। 11000 टन / वर्ष की उत्पादन क्षमता।
सबसे पहले, कंपनी का उत्पादन प्रोफ़ाइल
1. सी-क्लास कार्यशाला
सी, 2 #, 1 # कार्यशाला के साथ 3 #, 7 # चार उत्पादन लाइनों, बंद उत्पादन उपकरण का उपयोग करके, 1 #, 2 #, 3 # लाइन द्वारा लाइन स्वचालन उत्पादन, और दो पूरी तरह से स्वचालित तरल भरने लाइन सेट, विनिर्देशों को भरने सहित 1L ~ 25L से कर सकते हैं। अवयवों को एक अलग सील क्षेत्र में किया जाता है। उत्पाद विविधता की आवश्यकताओं के अनुसार, सी-क्लास उत्पादन लाइन का केंद्रीय नियंत्रण कक्ष सभी प्रकार के उपकरणों और सेंसर से लैस है ताकि नियंत्रण प्रणालियों की बहुलता बन सके।
2. एक कार्यशाला का संचालन करें
सभी प्रकार के पेंट और कोटिंग उत्पादन प्रदान करने के लिए तीन शाफ्ट मिक्सर और उच्च गति फैलाव मशीन के तीन, दो के सेट के साथ एक कार्यशाला का संचालन करें।
3. सी गोदाम
3300 वर्ग मीटर से अधिक के सी गोदाम निर्माण क्षेत्र और एक आग क्षेत्र है, का उपयोग रासायनिक कच्चे माल और तैयार उत्पादों के वर्गीकरण के लिए किया जा सकता है।
4. एक गोदाम
1400 वर्ग मीटर से अधिक के दो गोदाम निर्माण क्षेत्र और एक फायर जोन है, इसका उपयोग रासायनिक कच्चे माल और तैयार उत्पादों के बी श्रेणी के भंडारण के लिए किया जा सकता है।
5. अन्य सुविधाएं
कारखाने में उत्पादन के लिए पुन: प्राप्त पानी के रूप में मल के उपचार के बाद, एक पेशेवर सीवेज उपचार सुविधाएं, 20T / d की प्रसंस्करण क्षमता है। कारखाना अपशिष्ट गैस उपचार उपकरणों के चार सेटों से सुसज्जित है, सभी डिस्चार्ज मानकों के बाद निकास गैस उपचार की सुविधा।
व्यक्ति से संपर्क करें: kyjiang
दूरभाष: +8613915018025
